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ULVAC愛發科 熱陰極電離真空計 活塞型干泵 CCMT-1000D CCMT-D系列、陶瓷隔膜根據氣體的壓力變化發生變形、電容式真空計根據靜電容量的變化檢測壓力。 傳感器部由陶瓷一體構造，具備優秀的再現性、穩定性，在低·中真空領域不受氣體的種類影響(可以測量絕對壓力)，能夠高精度地測量

ULVAC愛發科 熱陰極電離真空計 活塞型干泵 ST200-A ST200-R ST200-E 這是 “G-TRAN系列復合電離真空計“的新型號，可以實現不同的測量范圍。作為三極管電離真空計，該產品不易發生靈敏度下降，即使在真空計的惡劣環境下，也能實現更長時間、更精確的真空測量。在保留以往高壽命、低運行成本理念的基礎上，進行了改進，更加人性化

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ULVAC愛發科 渦輪分子泵 羅茨泵 CRYO-U4H CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇